電子光學(半導體、PCB、芯片、晶片、攝像頭、光學鏡片、LCD、OLED、液晶、顯器件FED、多晶硅等)的生產對車間環(huán)境要求很嚴,制造工序不同,部分區(qū)域的潔凈度要求也不同,通常以十級、百級、千級、萬級、十萬級為標準。而每一個區(qū)域環(huán)境,如溫度、濕度,潔凈室工藝方面也要考慮照明、抗靜電、抗威震、廢棄廢水、大宗氣體和特殊氣體的排放等,同樣有規(guī)范標準,這些環(huán)境參數關系到產品的合格率和使用壽命,因此超潔凈車間才能賦予產品品質上的首要保障。
氣流→初效凈化→空調→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒→回風百葉窗→初效凈化
重復以上過程,即可達到凈化目的