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近年來高科技產(chǎn)業(yè)在國內經(jīng)濟發(fā)展上有著舉足輕重的作用，半導體晶片、TFT-LCD平面顯示等大型的廠房也在國內不斷的興建，規(guī)模也在不斷的擴大。各種高科技產(chǎn)業(yè)制作流程越來越精密，相關的儀器設備對于環(huán)境振動隔離的要求也越來越嚴格。在半導體產(chǎn)業(yè)有許多設備都必須考慮到降低環(huán)境振動，如檢驗設備SEM、SPM、TEM、曝光設備scanner、stepper、橢圓偏光儀等等，幾乎每一臺設備都需要安裝隔振系統(tǒng)，正因為如此，潔凈室工藝設備防微振平臺施工顯的尤為重要。

一、工法特點

1. 隨著生產(chǎn)工藝的不斷提高，生產(chǎn)設備對其基礎的振動要求也越來越高，廠房內的活動地板已經(jīng)不能滿足要求，需要安裝隔振系統(tǒng)。防微振動平臺的設立，則有效的解決了這個問題。

2. 需要設立防微振動平臺的設備是比較精密的設備，一般放置在潔凈室內，施工作業(yè)時需要注意安全、清潔；可以采用鋼結構材料，不易產(chǎn)塵，從長期使用角度講有利于潔凈度的保持。

3. 鋼平臺的施工相對其他平臺而言，施工周期比較短，安裝比較簡單，能更早地使生產(chǎn)設備投入生產(chǎn)。拿混凝土平臺做對比，其安裝時間一般在4~6周，而鋼平臺的安裝周期一般在2~3周，施工的時間縮短了一半。而且鋼平臺在廠房內運輸時為散件，無需整件運輸，相對比較安全，減少了更為復雜的安全保護措施。

4. 由于平臺與廠房內的活動地板是相隔開的，大大堵隔了除設備本身以外的其他振動，減少了環(huán)境振動對設備的影響，使得生產(chǎn)能夠平穩(wěn)高效的運行。因而防微振動平臺也被形象得稱為獨立基礎。

二、適用范圍

適用于經(jīng)過調試并已經(jīng)具備一定潔凈度等級的潔凈廠房，并且有一定微振動要求的設備。

三、工藝原理

將平臺設立在地面或者格柵板上，與原有的活動地板分離，使之不與活動地板相互傳遞振動，阻隔相鄰設備所產(chǎn)生的微振。通過自身的結構構造，將防微振動控制在振動規(guī)范或設備對基礎的要求之內，能夠獨立吸收來自設備本身運作產(chǎn)生振動的能量，避免潔凈室建筑結構(比如樓板、梁等)所產(chǎn)生的防微振動對其產(chǎn)生影響。